По современным представлениям, у поверхности полупроводника существуют локализованные электронные состояния, проникающие в полупроводник на глубину порядка десятых долей нм. Причиной появления таких локализованных состояний является резкое нарушение периодичности расположения атомов в результате обрыва кристаллической решетки.
Перераспределение носителей заряда между этими поверхностными состояниями и прилегающим объемом полупроводника приводит к образованию в полупроводнике области пространственного заряда, приповерхностному изгибу энергетических зон и «закреплению» уровня Ферми на поверхности [4,5]. В полупроводниках с преимущественно ковалентным типом химической связи (к которым относятся и полупроводниковые соединения типа AIIIBV) поверхностный уровень Ферми закрепляется в определенной части запрещенной зоны – вблизи так называемого уровня локальной электронейтральности в полупроводнике [8,9].
Уровень локальной электронейтральности ELNL является характеристикой данного полупроводника, и его положение определяется параметрами объемного энергетического спектра полупроводника. Рассчитанное для ряда полупроводников положение уровня ELNL относительно дна зоны проводимости [9] представлено в Приложении 2.
При нанесении слоя металла на свободную поверхность полупроводника и образовании барьера Шоттки величина имевшегося изгиба энергетических зон почти не изменяется. Для подтверждения этого в Приложении 2 приведены также типичные значения высоты барьера Шоттки Φб, измеренные в контактах Au и Al c полупроводниками n-типа.
При образовании резкого гетероперехода вблизи гетерограницы, где нарушается периодичность потенциала кристаллической решетки, возникают локальные электронные состояния (аналогичные рассмотренным выше поверхностным состояниям) с уровнями в запрещенной зоне одного или обоих полупроводников. При этом положение уровня Ферми вблизи гетерограницы оказывается близким к положениям уровней локальной электронейтральности каждого из контактирующих полупроводников.
В соответствии с данными представлениями гетеропереход можно рассматривать как соединение двух полупроводников (или барьеров Шоттки), у которых уже сформированы области пространственного заряда и существуют приповерхностные изгибы зон еще до контакта (рис. 5.3, а, б) [4].
|
Рис. 5.3. Построение энергетической диаграммы анизотипного p–N-гетероперехода при наличии локальных состояний у границ полупроводников [4] |
В этом случае величину скачка дна зоны проводимости в гетеропереходе можно оценить как разность расчетных уровней локальной электронейтральности в исходных полупроводниках:
|
(5.6) |
или как разность экспериментальных высот барьеров Шоттки для электронов в них:
. |
(5.7) |
Величина DEv при этом по-прежнему выражается формулой (5.3).