Схема спектрометра РФЭС приведена на рис. 6.1. Источник излучения – рентгеновская трубка с мишенью из Mg или Al, принцип действия полусферического анализатора основан на фильтрации электронов по энергии при движении их в электрическом поле. Детектор представляет собой коллектор электронов.

Для расшифровки РФЭС-спектров используются справочные пособия, в которых приведены величины энергии связи для атомов в различных степенях окисления. Наиболее полным на настоящий момент является следующее: Moulder J.F., Stickle W.F., Sobol P.E., Bomben K.D., Handbook of X-Ray Photoelectron Spectroscopy. - Perkin – Elmer. Eden Prairie, 1992.

Уникальность метода РФЭС заключается в том, что он позволяет исследовать поверхностные слои толщиной до 40-50 Å с высокой чувствительностью. Абсолютный предел обнаружения составляет 10^-8 г вещества. Данные особенности делают этот метод особенно актуальным для исследования химического состава покрытий.