Рассматривая средства и методы спектрометрии рентгеновского излучения, можно следующим образом сформулировать преимущества использования этой аналитической техники:
1. элементный анализ по характеристическому рентгеновскому излучению несложен благодаря относительной простоте рентгеновских спектров;
2. анализ по рентгеновскому излучению является неразрушающим;
3. анализируемое вещество может находиться в разнообразных агрегатных состояниях: твердом, жидком, газообразном; может быть в виде порошка, пульпы и т. д. В некоторых случаях анализируемое вещество может присутствовать в образце в нескольких агрегатных состояниях;
4. требования, предъявляемые к приготовлению образца, часто невысоки; можно анализировать, например, образцы различного размера, вида и формы, можно определять содержание нескольких элементов одновременно и получать информацию в реальном масштабе времени;
5. можно проводить анализ в широком диапазоне концентраций, т. е. от 100-процентной концентрации до менее чем 1-процентной. Предел обнаружения для РФлА – 0,1–1мкг/г.
Исследуя состав покрытий, нанесенных на подложку, методом РФлА, следует иметь в виду, что в спектре обязательно будет присутствовать сигнал от подложки. Это обусловлено высокой проникающей способностью рентгеновского излучения. Данный сигнал может быть вычленен после получения спектра чистой подлжки.