Гелий, неон и аргон не образуют химических соединений и только их можно назвать истинными «инертными» газами. Криптон, ксенон и радон образуют соединения с кислородом и фтором, а также комплексные соединения.

Ксенон горит в атмосфере фтора ярким пламенем, при этом образуется смесь фторидов:

Xe + F₂ = XeF₂,

Xe + 2F₂ = XeF₄,

Xe + 3F₂ = XeF₆.

Состав образующейся смеси зависит от соотношения компонентов в исходной смеси, времени и условий взаимодействия.

Дифторид ксенона может быть получен при окислении ксенона фторидом серебра (I):

2AgF₂ + 2BF₃ + Xe = XeF₂ + 2AgBF₄.

Оксосоединения образуются из фторидов.