После создания топологии будущего прибора необходимо задать распределение примеси и создать сетку расчетов. Для этого можно использовать программу snmesh . Создайте файл с названием "lab1_msh.cmd", который является командным файлом для программы snmesh , в нем описывают распределение примеси и размер ячеек разбиения для расчета. Командный файл для snmesh  может содержать следующие блоки:

• Title, который описывает названием устройства, например Title "lab1".
• Definitions - это блок, в котором описывают типы распределения примеси и размеры разбиения сетки расчета.
• Placements - это блок, в котором определяется место расположения примеси и сетки, описанных в блоке Definitions, на структуре.
• AxisAligned - это необязательный блок, который описывает выравнивание сетки;
• Offsetting. Данный блок в основном используется при построении сетки средствами noffset. В данном файле описываются параметры слоев.
• Delaunizer - это необязательный блок, который дополняет параметры, описанные в AxisAligned.
• Tensor - это необязательный блок, в котором описывается изменение параметров.
• Tools - это блок, в котором описываются действия над устройством, например, поворот, отражение, обрезка и т.п.
• IOControls - это блок отвечающий за названия файлов, которые будут считываться при запуске или записываться по завершении программы.

Добавьте в файл "lab1\_msh.cmd" блок Definitions со следующим содержанием:

Definitions {

Constant "Const.Substrate" {

Species = "NDopantActiveConcentration"

Value = 5e+16

}

#-----------------------------------------------

Refinement "Ref.Substrate" {

MaxElementSize = ( 0.1 2)

MinElementSize = ( 0.01 1 )

RefineFunction = MaxTransDiff(

Variable = "DopingConcentration",

Value = 1

 )

}

}

В приведенном примере были определены следующие параметры:

• профиль легирования с постоянным распределением примеси n -типа, с концентрацией `5*10^(16) cm^(-3)`  ;
• сетка, описывающая распределение примеси, с максимальным и минимальным размером ячейки вдоль оси X - 0,1 мкм  и 0,01 мкм, вдоль оси Y - 2 мкм  и  1 мкм, соответственно.

После определения профиля легирования и сетки их необходимо разместить. Для этого используется блок Placements:

Placements {

Constant "Const.Sub" {

Reference = "Const.Substrate"

EvaluateWindow {Element = region ["Substrate"]}

}

#-----------------------------------------------

Refinement "Ref.Substrate" {

Reference = "Ref.Sub"

RefineWindow = material ["Silicon"]

}

}

Рассмотрим более подробно приведенный код программы. Параметр Constant сообщает программе, что в области с названием Substrate необходимо разместить примесь, которая описана в блоке Definitions  с названием Const.Substrate. Примесь распределяется равномерно. Параметр Refinement отвечает за разбиение сетки расчета. В приведенном примере программе сообщается, что для материала Silicon необходимо применить разбиение с названием Ref.Sub из блока Definitions .

В командный файл snmesh  необходимо добавить блок IOControls:

IOControls {

inputFile = "lab1_bnd.tdr"

outputFile = "lab1_msh.tdr"

}

Приведенный код программы означает, что при запуске программы моделирования сетки расчетов (snmesh ) в качестве файла с граничными условиями будет взят файл с названием "lab1_bnd.tdr", а после завершения процесса моделирования будет создан файл "lab1_msh.tdr".